阿尔卑斯阿尔派的压力传感器

压力传感器是检测气压或负载等的压力,并将其转换为电信号的设备。阿尔卑斯阿尔派通过MEMS* 工艺制造出硅半导体基础的压力传感器芯片,以下是阿尔卑斯阿尔派的检测原理。
* MEMS是Micro Electro Mechanical System的缩写,表示应用半导体制造技术的微细加工技术。

压力传感器的分类

压力传感器有各种类型,在此为您介绍阿尔卑斯阿尔派所采用的使用Si半导体元件的压阻式。 此外还有使用金属应变仪的金属薄膜式、捕获静电容量变化的静电容量式等。

压力传感器的分类

阿尔卑斯阿尔派压力传感器的检测原理

Piezo Element Deformation Direction and Resistance

压阻法是利用压阻效应的检测方法,它是一种在对半导体晶体(Si)施加机械应变时,电子的移动量会随着内部能量结构的变化而变化、且电阻会随之变化的现象。

如右图所示,电阻会随着施加到压阻元件上的应变方向而发生变化。

该压阻元件位于与一旦施加压力就会弯曲的膜片呈90度相交方向上的四处。当膜片弯曲时,压阻元件也会变形,进而如以下所示导致电桥电路中产生电阻差,输出电压(Vout1,Vout2)也随之变化。
这样,压力转换为电信号。

阿尔卑斯阿尔派压力传感器的检测原理

阿尔卑斯阿尔派的压力传感器

压力有各种类型,在此我们为您介绍气压的检测。
气压是气体带来的压力。大气压力(通常简称为气压)是由大气重量带来的压力。
它表示为:1个大气压(atm)=1013hPa(百帕)。

高度和大气压力

高度和大气压力

和大气压力之间的关系如右图所示。当海拔位置升高时,周围的空气会减少,因此气压会下降。 所以可以使用大气压测量高度。

绝对压力、表压

绝对压力、表压

同时,阿尔卑斯阿尔派的气压传感器是绝对压力传感器。 绝对压力是指以绝对真空为零基准点的压力。 而表压则是以大气压为零基准点的压力,比大气压高的压力被称为正压,比大气压低的压力被称为负压。

除大气压力外,还有各种类型的压力。阿尔卑斯阿尔派运用上述检测原理,提供可检测气压、水压、负荷的各种传感器。

阿尔卑斯阿尔派的压力传感器

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