阿尔卑斯阿尔派的压力传感器的检出原理与气压传感器相同,都是压阻式。使用MEMS制程生产的压阻式元件检出荷载(力)。但是,它与气压传感器的不同之处是通过膜片加厚,对于气压等微小变化无法识别,只检出荷载等大的变化。另外,为了追求产品的最小化封装,该传感器采用了模拟输出方式而无内置ASIC电路。
下面介绍阿尔卑斯阿尔派的压力传感器的特点。
外形小而薄
阿尔卑斯阿尔派的压力传感器实现了行业最小尺寸,可安装于小型细径触控笔的笔尖中(截至2020年6月的我公司调查结果)。

高线性度
与其他方式相比,压阻式压力传感器可实现高线性度,进而与同样使用压阻式的其他公司的产品相比,我公司的压力传感器具有更为优异的线性度。

如下图所示,阿尔卑斯阿尔派传感器与理想直线的偏差,HSFPAR007A实现了2%FS*以下产品性能。
* FS=Full Span(0~8N范围内的输出波动量)

同时从上图可以看出阿尔卑斯阿尔派的压力传感器具有优异的耐滞后性。
高灵敏度
阿尔卑斯阿尔派的压力传感器还可检出1g(≒0.01N)级微小应力。
实验例
在压力传感器上逐次叠放1日元硬币(1g)进行实验,输出如图表所示,具有良好的检出可靠性*。如上所述,阿尔卑斯阿尔派的压力传感器在全部荷载范围内都实现了有高线性度的输出。
* 如要检出微小应力,需要增加运算放大器进行增幅或者平均化滤波等信号处理以便获得稳定的信号输出。

搭载我们的传感器,通过检测触控笔的笔压,可实现书写自如的手感。
高可靠性
阿尔卑斯阿尔派的压力传感器在使用荷载范围(~8N)内保证100万次动作寿命。HSFPAR004A的最大额定荷载比原产品提升30~40%,可承受最大55N的荷载。